Ｖテクが国内大手フォトマスクメーカーからフォトマスク欠陥修正装置を受注

　ブイ・テクノロジー<7717.T>がこの日の取引終了後、国内大手フォトマスクメーカーから、フォトマスク欠陥修正装置「Ｄｒａｃｏ（ドラコ）」を受注したと発表した。

　今回受注した「Ｄｒａｃｏ」は、局所真空技術と収束イオンビームを用いた世界初のフォトマスク欠陥修正装置で、修正位置精度の高さや従来方式では実現が難しい加工端が滑らかで優れた仕上がりを実現するエッチング機能、欠落部分の回路形成を行うデポジション機能などの微細加工性能、局所真空によるマスクの投入排出時間の短縮、省スペース性などに高い評価を受け、注文に至ったという。受注金額などは非開示となっている。

出所：MINKABU PRESS