タムラは反発、ノベルクリスタルテクノロジーの酸化ガリウム成膜成功が刺激◇

　タムラ製作所<6768.T>が反発。ノベルクリスタルテクノロジー（埼玉県狭山市）は１日、日本酸素ホールディングス<4091.T>傘下の大陽日酸及び東京農工大学と共同で、次世代半導体材料として注目される酸化ガリウムをハライド気相成長（ＨＶＰＥ）法によって６インチウエハー上に成膜することに世界で初めて成功したと発表しており、これが刺激となっているもよう。ノベルクリスタルテクノロジーは、タムラのカーブアウトベンチャー及び情報通信研究機構（ＮＩＣＴ）の技術移転ベンチャーとして設立された経緯があり、２月２１日には追加出資したことを明らかにしている。

　今回の成果は、大口径かつ複数枚のエピウエハーを製造可能な酸化ガリウム量産成膜装置の開発を大きく進展させ、成膜コストが課題となっていた酸化ガリウムエピウエハーの大口径・低コスト化の実現につながるもの。酸化ガリウムパワーデバイスが広く普及すれば、産業用モーター制御のインバーターや住宅用太陽光発電システムのインバーター、次世代の電気自動車（ＥＶ）などの省エネルギー化が見込めるという。

（注）タイトル末尾の「◇」は本文中に複数の銘柄を含む記事を表しています。

出所：MINKABU PRESS