ニレコは一時Ｓ高、半導体検査装置向けに「超広帯域位相子」を開発と報じられる

　ニレコ<6863.T>は一時ストップ高となる１０１３円まで買われている。同社子会社の光学技研に関して、きょう付けの日刊工業新聞で「従来よりも小型で広い帯域の光波長を制御できるフレネルロム（菱面体）『超広帯域位相子』を開発した」と報じられており、これが材料視されているようだ。

　記事によると、半導体の微細化が進展するなか、半導体の製造装置や検査機では従来の位相子より短い真空紫外線の波長を使って露光や検査をする必要があるという。光学技研が今回開発した位相子は制御できる波長の帯域が広く、コンパクトで使い勝手も良いことから、こうしたニーズへの対応に役立つとみられており、今後半導体の製造や検査機器メーカーに提案するとしている。

出所：MINKABU PRESS