先日、サムスンでクリーンルームが汚染されたというニュースがあった。ユーチューブで半導体に詳しい人のコメントに以下のようにあった。　200ｍｍウエハーだから、現在の最先端は300mmウエハー。言わば旧式。高濃度ではないフッ化水素が代用できるかどうか、実験してみた可能性もある。・・・・・云々。　でも、高濃度のフッ化水素が枯渇していれば工場の一部が止まっているはずだし、クリーンルームも閉鎖されていてもお ...続きを読む