MipoxはS高、名古屋大学との共同研究がNEDO事業に採択
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今回採択された共同研究は、半導体材料の品質を低下させる結晶欠陥(転位)を可視化する「複屈折イメージング」により転位の歪み分布(マッピング)をとらえ、シミュレーションと機械学習を用いることにより、炭化ケイ素(SiC)をはじめとする半導体基板中の転位の種類や位置を非破壊で自動的に検出するシステム及びデバイスの歩留り低下をもたらすキラー欠陥を特定するシステムの開発。これらのシステムは、半導体基板やパワーデバイスの飛躍的な生産性向上に寄与し、将来的に日本のパワー半導体製造の標準装備となることが期待されるという。
出所:MINKABU PRESS
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