タムラは反発、ノベルクリスタルテクノロジーの酸化ガリウム成膜成功が刺激◇
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今回の成果は、大口径かつ複数枚のエピウエハーを製造可能な酸化ガリウム量産成膜装置の開発を大きく進展させ、成膜コストが課題となっていた酸化ガリウムエピウエハーの大口径・低コスト化の実現につながるもの。酸化ガリウムパワーデバイスが広く普及すれば、産業用モーター制御のインバーターや住宅用太陽光発電システムのインバーター、次世代の電気自動車(EV)などの省エネルギー化が見込めるという。
(注)タイトル末尾の「◇」は本文中に複数の銘柄を含む記事を表しています。
出所:MINKABU PRESS
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