Ｖテクは６日続伸、集束イオンビームフォトマスク修正装置「Ｄｒａｃｏ」初号機を受注

　ブイ・テクノロジー<7717.T>は６日続伸。同社はきょう午後１時に、集束イオンビームフォトマスク修正装置「Ｄｒａｃｏ」の初号機の受注を獲得したと発表した。

　同製品は高精細かつ高い位置精度で欠陥の修正やパターンの描画が可能な構成であり、加えて、局所真空技術による省スペース・低ランニングコストなどの点でも優れているとした。昨年１２月２１日にフォトマスク製造プロセスの発展に貢献する製品としてリリースし、多くの顧客によるテストでは、欠陥修正性能、省スペース性、使いやすさなどで高い評価を得たとしている。

出所：MINKABU PRESS