ニコンが反発・新露光装置に期待集まる

[agawaさん]

ニコン（７７３１）が反発。
ダブルパターニング（下の「注」参照）量産対応の半導体用液浸露光装置「ＮＳＲ－Ｓ６２０」を先に発売した。半導体生産においては、４０～４５ナノメートル世代の量産対応技術として既に液浸技術が確立されているが、３２ナノメートル世代以降のさらなる微細化に応える技術としてダブルパターニングが最も期待されている。しかし、ダブルパターニングでは２回の露光が必要となることから、量産プロセスへの導入に際しては、重ね合わせ精度とスループットの大幅な向上が露光装置の課題とされていたが、これらの要望を満たした。なお、半導体用液浸露光装置の新棟を建設中。
野村証券は「逆転への切り札『Ｓ６２０』に期待」として投資判断「２」を継続した。
ニコンの株価は９時３５分現在９８８円（△４７円）。
注・ダブルパターニングとは、１つの回路パターンを、現行の液浸露光機で転写できる２つの密集度の低いパターンに分割し露光する技術で、この２つのパターンを組み合わせて、最終的に密集度を高めることが可能となる。