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ニコンが反発・新露光装置に期待集まる



ニコン(7731)が反発。
ダブルパターニング(下の「注」参照)量産対応の半導体用液浸露光装置「NSR-S620」を先に発売した。半導体生産においては、40~45ナノメートル世代の量産対応技術として既に液浸技術が確立されているが、32ナノメートル世代以降のさらなる微細化に応える技術としてダブルパターニングが最も期待されている。しかし、ダブルパターニングでは2回の露光が必要となることから、量産プロセスへの導入に際しては、重ね合わせ精度とスループットの大幅な向上が露光装置の課題とされていたが、これらの要望を満たした。なお、半導体用液浸露光装置の新棟を建設中。
野村証券は「逆転への切り札『S620』に期待」として投資判断「2」を継続した。
ニコンの株価は9時35分現在988円(△47円)。
注・ダブルパターニングとは、1つの回路パターンを、現行の液浸露光機で転写できる2つの密集度の低いパターンに分割し露光する技術で、この2つのパターンを組み合わせて、最終的に密集度を高めることが可能となる。

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登録日時:2008/12/10(09:48)

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